摘  要：为探讨类金刚石膜层（DLC）与类石墨膜层（GLC）对钛合金抗微动疲劳（FF）和抗微动磨损（FW）性能的影响，利用闭合磁场非平衡磁控溅射（CFUBMS）离子镀技术在Ti6Al4V合金表面制备了DLC膜层和GLC膜层。利用原子力显微镜（AFM）、X射线光电子能谱（XPS）、纳米压入仪、划痕仪和自制循环压-压测试系统分析了薄膜的结构，评价了膜层硬度、膜-基结合强度和膜层韧性。利用自制微动磨损和微动疲劳试验装置研究了DLC膜层与GLC膜层对钛合金基材的抗FW及FF性能的影响规律及作用机制。结果表明：DLC膜层与GLC膜层均能显着降低钛合金表面摩擦因数，从而有效改善了钛合金的抗FW和抗FF性能，然而DLC膜层的抗FW性能和抗FF性能均比GLC膜层更优，此归于DLC薄膜比GLC膜层具有更好的膜基结合强度和韧性，而摩擦因素的影响作用相对较小。

　　关键词：微动磨损；微动疲劳；类金刚石膜；类石墨膜；钛合金

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