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名称 : 高速钢表面类金刚石薄膜的掺氮改性研究
发表日期 : 2023-06-27
摘要 :

高速钢表面类金刚石薄膜(DLC)的沉积效率和结合力问题影响着其在切削刀具领域的应用。本文基于空心阴极原理,结合等离子体增强化学气相沉积技术(PECVD)在高速钢表面制备类金刚石薄膜,在CH4:C2H2=1:3气体比例下研究掺氮处理对DLC薄膜结合力和耐磨性能的影响。结果表明,通N2条件下可提高DLC薄膜的沉积效率,改善膜结构。随着DLC膜掺氮量增加,薄膜中sp3键含量、摩擦系数均呈现先增大后减小的趋势。当10%N2处理DLC薄膜厚度可达1543nm,结合力可由HF4等级提高到HF2等级,摩擦系数低至0.139,有效地改善了DLC膜耐磨性。

网址 : 暂无
领域 : 表面工程科学
出版公司 : 上海金属
出版国家 : CN
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重点项目名称 : 新型带有反向正脉冲的高功率脉冲磁控溅射技术开发高硬度无氢四面体非晶碳涂层-课题1(2)
项目所属数据集 : 2019YFE0123900-002数据集

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