分别利用水冷铜坩埚真空感应熔炼气雾化（VIGA-CC）和等离子旋转电极（PREP）2种技术制备出球形Ti-6Al- 4V合金粉末，利用扫描电子显微镜（SEM）、同步辐射CT扫描-三维重建和脉冲炉-质谱仪联机仪器等分析手段对不同粒径的Ti6Al4V合金粉末的孔洞缺陷、氩气含量、硬度进行表征。结果表明，VIGA-CC粉末粒度分布宽，细粉收得率较高，粉末粒度分布在40~180μm之间;PREP粉末粒度分布较窄，主要集中在110～180 μm之间。Ti-6Al4V合金粉末内部的孔隙率、气体含量和孔尺寸随着粉末粒度的增大而增大，且相同粒径范围内VICA-CC粉末的气孔率多于PREP粉末;随着粉末粒径的减小，粉末截面组织逐渐细化，硬度值逐渐升高，整体上VIGA-CC粉末的硬度值高于 PREP 粉末。